声明

本文是学习GB-T 5593-2015 电子元器件结构陶瓷材料. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们

1 范围

本标准规定了电子元器件结构陶瓷的种类、级别、技术指标要求、试验方法和检验规则。
本标准适用于电子元器件用结构陶瓷材料。

2 规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T 1031—1995 表面粗糙度参数及其数值

GB/T 1966 多孔陶瓷显气孔率、容重试验方法

GB/T 2413 压电陶瓷材料体积密度测量方法

GB/T 2421.1 电工电子产品环境试验 概述和指南

GB/T 5594.1 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法 气密性测试方法

GB/T 5594.2 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法 杨氏弹性模量
泊松比测试方法

GB/T 5594.3 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法
第3部分:平均线膨胀系数测试方法

GB/T 5594.4 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法
第4部分:介电常数和介质损耗角正切

值的测试方法

GB/T 5594.5 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法 体积电阻率测试方法

GB/T 5594.6 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法
第6部分:化学稳定性测试方法

GB/T 5594.7 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法 第7部分:透液性测定方法

GB/T 5594.8 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法
第8部分:显微结构测定方法

GB/T 5597 固体电介质微波复介电常数测定方法

GB/T 5598 氧化铍瓷导热系数测定方法

GB/T 9530—1988 电子陶瓷名词术语

JJG 151—2006 金属维氏硬度计检定规程

SJ/T 10760—1996 电子器件结构陶瓷材料的名称和牌号的命名方法

3 术语和定义

GB/T 9530—1988 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

电子陶瓷 electronic ceramics

电子技术中用于制造电子元件和器件的陶瓷材料, 一般可分为结构陶瓷和功能陶瓷。

3.2

mullite ceramics

以莫来石(3Al₂O₃ ·2SiO₂)
为主晶相、钡长石、与钙长石为玻璃相的陶瓷。其特点是介质损耗角正切
值较一般长石质瓷小,绝缘电阻率高,抗电强度高,并具有较好的机械强度。主要用于制造电阻瓷基体。

3.3

滑石瓷 steatite ceramics

以原顽辉石为(MgSiO₃)
为主晶相的陶瓷。其特点是具有较高的机械强度,较低的介质损耗角和高

的绝缘电阻率,热稳定性较差。

GB/T 5593—2015

注:滑石瓷主要用于制造各种类型的绝缘子、线圈骨架、高频瓷轴、波段开关、管座以及电阻基体等。还用于制造各

种高压高介电容器。

3.4

镁橄榄石陶瓷 forsterite ceramics

以硅酸镁(Mg₂SiO₄)
为主晶相,并含有一定量的钡质玻璃相的陶瓷。其特点是机械强度高,介电性

能优良,线膨胀系数与金属钛相近,因此,能与金属钛良好地进行封接。其缺点是热稳定性差。

注:镁橄榄石瓷用于制造电子管和半导体器件的绝缘零件,且广泛用于小型金属陶瓷管。此外,还用于制造电阻基

体和陶瓷电容器。

3.5

氧化铝瓷 alumina ceramics

以氧化铝为主要成分,主晶相是α-Al₂O₃ 的陶瓷,如 A-75 瓷、A-95 瓷、A-97
瓷、A-99.9 瓷等,具有
机械强度高、高温下介电性能优异、真空气密性好、介电损耗低、硬度大、导热性好、耐高温、耐磨、耐腐

蚀、抗氧化等特点。

注:主要用于制造超高频、大功率电真空器件绝缘结构零件,厚膜、薄膜和微波集成电路基片,硅整流器的壳体和支

架、天线罩等。

3.6

多孔氧化铝瓷 porous alumina ceramics

含有大量闭口气孔和贯通的开口气孔,主成分为α-Al₂O₃
的陶瓷。气孔要求分布均匀,并具有一定

的机械强度,能耐热急变。

注:可用作管内支撑件、催化剂载体等。

3.7

氧化铍瓷 beryllia ceramics

主晶相为具有纤锌矿结构的氧化铍,次晶相为镁铝铍化合物的陶瓷。按氧化铍的含量不同,可分为
B-95 瓷和B-99
瓷。其特点是具有很高的导热性,导热系数几乎与纯铝相等。它有优越的抗热震性,其

电性能近似于氧化铝瓷。

注:用于制作晶体管的管壳、管座、散热片、功率较大的集成电路和微波集成电路基片、微波窗以及用于空间技术、

原子能中子减速器等。

3.8

氮化铝瓷 aluminium nitride ceramics

主晶相以氮化铝(AlN)
为主要成分的陶瓷。色白,六方晶型,导热性好,仅次于氧化铍瓷,是一种高

导热材料,抗热震性好,化学性能稳定。

注:用于制造大功率厚膜集成电路的陶瓷基片、大功率半导体器件和超大规模集成电路的基板,此外尚可用作高温

耐腐蚀材料等。

3.9

氮化硼陶瓷 boron nitride ceramics

以氮化硼为主要成分,结晶结构为六方型或立方型的陶瓷。六方型结构的氮化硼瓷与石墨相似,润
滑性能好,硬度低,易于进行机械加工,是较好的可切削材料。立方型结构氮化硼瓷的硬度高,与金刚石
相似。氮化硼瓷密度小,热稳定性和化学稳定性好,其突出特点具有高导热率和低电导率,易于加工,以

及优异的润滑性能,并有较好的耐高温性,高温性能优于氧化铝瓷以及对微波辐射具有穿透能力。

注: 可用于雷达窗口,又可用于功率较大的晶体管管座、管壳、散热片及微波输出窗。

3.10

机械强度 mechanical strength

陶瓷材料或制品抵抗外界机械应力作用的能力。以单位截面上所能承受的最大负荷来表示。根据

负荷的性质可分为抗折(或抗弯)强度、抗压强度、抗张强度、抗冲击强度等。

GB/T 5593—2015

3.11

耐压强度 compression strength

抗压强度

陶瓷材料受到压缩负荷作用而破坏时的极限应力值。

3.12

抗折强度 transverse strength

陶瓷材料受到弯曲负荷作用而破坏时的极限应力值。用弯曲破坏力矩与折断处的横截面积的比值
来表示,单位为牛顿每平方厘米(N/cm²)。

3.13

抗拉强度 tensile strength

陶瓷材料受到张应力(拉伸负荷)的作用而破坏时的极限应力,以试样单位截面积上所承受的破坏
负荷表示。单位为牛顿每平方厘米(N/cm²)。

3.14

体积电阻率 volume resistivity

又称比体积电阻p、。是表征电介质材料体积绝缘性能的重要指标。
p、在数值上等于边长为1 cm 的立方体电介质所具有的电阻。单位为欧姆厘米(Ω
·cm)。

3.15

电击穿 electric breakdown

在电场作用下,电介质内少量自由电子动能加大,当电压足够大时,由于电子冲击激发出新的自由

电子参加运动并产生正负离子,介电功能受破坏,而被击穿。

3.16

电击穿强度 breakdown strength

介电强度 dielectric strength

绝缘强度 insulating strength

处于电场中的介质,当电压增大到某一临界值时,将丧失其绝缘性的现象,相应的临界电压值为击
穿电压,相应的电场强度,称为电击穿强度。单位为千伏每毫米(kV/mm)。

3.17

泊松比 poisson's ratio

物体在弹性限度范围内,在轴向拉应力作用下,其横向相对收缩(ε,、e)
与纵向相对伸长(e )之比

值称为泊松比。可表示为:

style="width:1.97327in;height:0.80674in" />

3.18

弹性模量 elastic modulus

符合虎克定律的弹性体,在承受轴向拉力(或压力)时,在弹性限度范围内,应力(a)
与应变(ɛ)的比

值称为弹性模量。记为:

style="width:0.81341in;height:0.5467in" />

4 要求

4.1 分类与命名

陶瓷材料根据其用途和性能按表1进行分类。其名称和牌号的命名符合 SJ/T
10760— 1996 的规定。

4.2 性能

陶瓷材料的机械性能、电性能和化学性能等应符合表1的规定。

GB/T 5593—2015

序号

项 目

测试条件

单位

材料

A₃S₂-1

莫来石瓷

A₃S₂-2

莫来石瓷

MS-1

滑石瓷

MS-2

滑石瓷

M₂S

镁橄榄石瓷

1

体积密度

g/cm³

≥2.60

≥2.80

≥2.70

≥2.60

≥2.90

2

气密性

Pa ·m³/s

通过

3

透液性

通过

通过

通过

通过

通过

4

抗折强度

MPa

≥80

≥100

≥140

≥120

≥110

5

弹性模数"

GPa

≥150

6

泊松比"

0.20~0.25

7

抗热震性

通过

8

线膨胀系数

20℃~100℃

×10-6 K-1

≤6

≤8

≤8

≤8

20℃~500 ℃

×10⁻⁶K⁻

10~11

20 ℃~800 ℃

×10-'K-1

10.5~11.5

20℃~1200℃*

×10-K-1

9

导热系数

20 ℃

W/(m · K)

100℃

10

介电常数

1 MHz 20℃

≤7.5

≤7.5

≤7.5

≤7.5

6.5~7.5

1 MHz 500℃
10 GHz 20 ℃b

11

介质损耗角

正切值

1 MHz 20℃

×10-+

≤40

≤20

≤8

≤20

≤5

1 MHz 500℃

×10-+

10 GHz 20 ℃b

×10-4

12

体积电阻率

100 ℃

Q ·cm

≥10¹

≥1012

≥1012

≥1012

≥1013

300 ℃

Ω ·cm

≥1010

500 ℃

Ω ·cm

13

击穿强度

D.C.

kV/mm

≥18

≥15

≥20

≥20

≥20

14

化学稳定性

1:9HCl

mg/cm²

10% NaOH

mg/cm²

15

气孔率

%

16

晶粒大小

μm

17

硬度

HV₅

MPa

18

用途

主要用作

电阻基体

主要用作大

型装置瓷体

适用于一般装置零件

用作小型电 真空零件

必要时测试。

必要时按GB/T 5597测试。

GB/T 5593—2015

1

牌号

A-75

75% Al₂O₃ 瓷

A-90

90% Al₂O₃ 瓷

A-95

95% Al₂O₃ 瓷

A-99

99% Al₂O₃ 瓷

A-99.5

半透明瓷

A-多孔

A l₂O₃ 瓷

B-97(min)

97% BeO瓷

B-99(min)

99% BeO瓷

≥3.20

≥3.40

≥3.62

≥3.85

≥3.90

2.0~2.5

≥2.85

≥2.85

通过

通过

通过

通过

通过

通过

通过

通过

通过

通过

通过

通过

通过

≥200

≥230

≥280

≥300

≥300

≥30

≥170

≥180

≥250

≥280

0.20~0.25

0.20~0.25

通过

通过

通过

通过

通过

通过

≤6

6.3~7.3

6.5~7.5

6.5~7.5

6.5~7.3

6.5~7.5

7.0~8.5

7.0~8.5

6.3~7.3

6.5~8.0

6.5~8.0

6.5~8.0

7.0~8.5*

≥200

≥230

≥160

≥180

≤9

9.0~10

9.0~10

9.0~10.5

9.0~10.5

4.5~5.5

6.5~7.5

6.5~7.5

9.0~10

9.0~10

9.0~10

9.0~10.5

6.5~7.5

6.5~7.5

≤10

≤6

≤4

≤2.5

≤1.5

≤4

≤5

≤4

30~40

≤10

≤6

≤8

≤8

≥1012

≥1013

≥1013

≥1013

≥104

≥1013

≥10¹*(20℃)

≥10¹(20℃)

≥1010

≥1010

≥1010

≥101²

≥1010

≥10"

≥10

≥10°

≥10°

≥1010

≥20

≥15

≥15

≥17

≥18

≥15

≥18

≤7.0

≤0.7

≤0.3

≤0.3

≤0.2

≤0.1

≤0.2

≤0.2

15~30

8~20

12~30

12~30

1380

1450

可用作高机械

强度装置零件

用作管壳

及封装零件

用作管壳

及电路基片

用作管壳

及电路基片

用作集成电路

基片输出窗片

用作管内绝缘

件及衰减材料

用作高温、高导热绝缘零件及

半导体器件基片

GB/T 5593—2015

5 试验方法

5.1 试验条件

如果本标准没有特殊规定时,陶瓷材料的所有试验应在GB/T 2421.1
所规定的正常的试验大气条

件下(温度15℃~35℃,相对湿度45%~75%,气压86 kPa~106 kPa)进行。

5.2 试验样品

试验所用样品的形状、尺寸、要求和数量应符合本标准表2的规定。

除多孔瓷和三公分波段(10 GHz)
试验项目外,测量陶瓷材料的电性能时,样品两面应按表2的要

求用烧渗法覆上一层完整的银层作为电极。其测试方法按GB/T 5597。

2

序号

项 目

样品数

形状、尺寸和要求

mm

1

体积密度

5

2

气密性

3

0.8

2

0

±

3

.

0

0.8

24±0.1

3

抗折强度

10

(1)(包括正方体截面7±1×7=1)

65±2

(2)(包括正方体截面3.5+1×3.5=1)

1

±

5

3

φ

50±2

(推荐BeO瓷用)

GB/T 5593—2015

2 ( 续 )

序号

项 目

样品数

形状、尺寸和要求

mm

4

弹性模数、

泊松比

2

5 . 0 ± 5 2

120±1 3±0.1

5

抗热震性

(热稳定性)

10

φ20±1

φ35±1

6

膨胀系数

2

0 ±

5 . 3 φ

50±0.2

两端面应磨平,且其垂直度不得大于0.05

GB/T 5593—2015

2 ( 续 )

序号

项 目

样品数

形状、尺寸和要求

mm

7

导热系数

2

(1)柿轴法

φ15±0.3

A

0.02

0.02

A

3

0

±

5

1

φ

0.02

0.02 A

(2)激光闪烁法

8

介电常数,

介质损

耗角正切值

1 MHz

5

被银层

5

.

0

±

5

.

φ35±5

9

体积电阻率

5

φ26±1

被银层

φ21±0.5

5.0 士 5. 1

φ35±5

GB/T 5593—2015

表 2 ( 续 )

序号

项 目

样品数

形状、尺寸和要求

mm

10

击穿强度

5

φ8±0.2

被银层

0

±

1

φ35±5

11

化学稳定性

6

5.3 体积密度

测量陶瓷材料的体积密度时,应按 GB/T2413 规定的方法进行。

5.4 气 密 性

测量陶瓷材料的气密性时,应按GB/T 5594.1 规定的方法进行。

5.5 透液性

测量陶瓷材料的透液性时,按GB/T 5594.7 规定的方法进行。

5.6 抗折强度

测量陶瓷材料的抗折强度时,负荷加在样品中心,负荷增加的速度不大于39
N/s, 测量误差不超过

±10%。

抗折强度a 按式(2)和式(3)计算

圆柱形试样:

式 中 :

style="width:1.93992in;height:0.61996in" />

…………………………

(1)

a ——抗折强度,单位为兆帕(MPa);

P— 抗折负荷,单位为牛顿(N);

L—— 支点间距离,单位为厘米(cm);

D— 试样折断面截面的直径,单位为厘米(cm)。

GB/T 5593—2015

方形截面试样:

style="width:1.93992in;height:0.61996in" /> ……………… ……… (2)

式 中 :

style="width:0.17338in;height:0.19998in" /> 抗折强度,单位为兆帕(MPa);

P—— 抗折负荷,单位为牛顿(N);

L—— 支点间距离,单位为厘米(cm);

b— 试样折断截面宽度,单位为厘米(cm);

h— 试样折断截面的厚度,单位为厘米(cm)。

5.7 弹性模数、泊松比

测量陶瓷材料的弹性模数、泊松比时,应按GB/T 5594.2 规定的方法进行。

5.8 抗热震性(热稳定性)

测量抗热震性(热稳定性)时,应将试样洗净,并在120℃±10℃的加热箱中烘干,自然冷却至室
温,然后放入规定试验温度的加热炉中持续10 min 。
将试样取出放置在石棉板上,在正常试验大气条
件下自然冷却至室温,随后再将试样放入规定温度的加热炉中,重复试验直至规定的次数为止,最后在

1%浓度的品红溶液中浸置3 min,
取出洗净、擦干,在灯光下观察样品不应有裂纹、炸裂。

对 A-90 、A-95 、A-99 、A-99.5 、B-97 、B-99
陶瓷材料,规定温度为800℃±10℃,反复10次为合格。

对 M₂S 陶瓷材料,其试验温度为400℃±10℃,反复五次为合格。

5.9 线膨胀系数

测量陶瓷材料的线膨胀系数时,应按GB/T 5594.3 规定的方法进行。

5.10 导热系数

测量陶瓷材料的导热系数时,应按 GB/T 5598 规定的方法进行。

5.11 介电常数及介质损耗正切值

5.11.1 介电常数及介质损耗正切值(1 MHz)

测 量 1 MHz 下或高温条件下陶瓷材料的介电常数及介质损耗正切值时,应按
GB/T 5594.4 规 定

的方法进行。

5.11.2 介电常数及介质损耗正切值(10 GHz)

测量10 GHz 下陶瓷材料的介电常数及介质损耗正切值时,应按 GB/T 5597
规定的方法进行。

5.12 体积电阻率

测量陶瓷材料体积电阻率时,应按 GB/T 5594.5 规定的方法进行。

5.13 击穿强度

测量陶瓷材料的击穿强度是,应在直流高压设备上进行,设备应保证电压能均匀上升,升压速率不
大 于 1 0 0 0V/s,
电压测量误差不应大于±5%。试样及电极要求见表2,试验应在绝缘性能足够的绝缘

油或变压器油中进行。测量厚度时,误差应不大于±0.002 mm。

测试结果按式(3)计算:

GB/T 5593—2015

style="width:0.84677in;height:0.62656in" /> ………………………… (3)

式中:

E—— 试样的电气强度,单位为千伏每毫米(kV/mm);

U—— 试样的击穿电压,单位为千伏(kV);

h — 试样的厚度,单位为毫米(mm);

5.14 化学稳定性

测量陶瓷材料化学稳定性时,应按 GB/T 5594.6 规定的方法进行。

5.15 气 孔 率

测量陶瓷材料气孔率时,应按GB/T 1966 规定的方法进行。

5.16 晶粒尺寸

测量陶瓷材料晶粒尺寸时,应按 GB/T 5594.8 规定的方法进行。

5.17 硬 度

测量陶瓷材料硬度时,应按附录 A 规定的方法进行。

6 检验规则

6.1 检验分类

6.1.1 概 述

陶瓷材料的检验分为出厂检验(交收检验)和型式检验(例行检验)。

6.1.2 出厂检验

陶瓷材料每批应按表3规定的试验项目进行出厂检验。

表 3

材料牌号

控制指标名称

A₃S₂-1

A₃S₂-2

体积电阻率、抗折强度

MS-1

MS-2

介质损耗角正切值、抗折强度

A-75

介质损耗角正切值、抗折强度

M₂S/A-90

A-95

A-99

1MHz介质损耗角正切值、抗折强度、击穿强度、

线膨胀系数、体积密度、化学稳定性

A-99.5

击穿强度

B-97

B-99

1MHz介质损耗角正切值、体积密度、

线膨胀系数、热导率

GB/T 5593—2015

6.1.3 型式检验

为了确定陶瓷材料是否符合本标准的要求,制造厂应按表1的规定进行型式检验。型式检验每年
不得少于一次,当制造工艺或原材料发生重大改变时,也要进行型式检验。

6.2 检验批

由同一配方在相同条件下连续生产的陶瓷材料组成检验批。

6.3 判定规则

试验中,若全部样品的指标均符合本标准表1的规定,则认为该批陶瓷材料合格。在试验中,若发
现一项或一项以上的试验项目不符合表1的规定,则应以同批瓷料制成两倍数量的样品对不合格项目
进行复验。若复验仍不合格,则该批陶瓷材料为不合格。若复验的全部样品的指标均符合表1的规定,

则认为该批陶瓷为合格。

测量陶瓷材料的抗折强度时,每支样品的测定值不得低于表1所规定标准值的90%。

7 标志、包装、运输和贮存

7.1 标志

陶瓷材料的外包装上应有牢固的标志,内容包括:制造厂名称、产品名称、产品批号、产品型号、制造
日期等。

在塑料薄膜内包装里应附有产品标签,内容包括:制造厂名称、产品名称、产品型号、制造日期、产品
的主要参数、重量等。 BeO 产品在贮存和运输过程中应有"毒品"标识。

7.2 包装

陶瓷材料用内有塑料薄膜的纺织带等材料进行包装,每袋的重量不超过25 kg。

7.3 运输

陶瓷材料可以用任何运输工具进行运输,运输中要防止雨淋。

7.4 贮存

陶瓷材料应贮存在通风、干燥的库房里,且与其他粉料隔开存放。

style="width:4.48007in;height:2.45322in" />GB/T 5593—2015

A

(规范性附录)

电子元器件结构陶瓷材料维氏硬度测试方法

A.1 概述

本方法规定了测定电子元器件结构陶瓷维氏硬度所用的设备要求、试样的要求、试验步骤及结果

计算。

本方法适用于电子元器件结构陶瓷材料维氏硬度的测定。

A.2 测试原理

采用将两相对面夹角为136°±0.5°正四棱锥体金刚石压头,在试验力作用下压入试样表面,保持

规定时间后,卸除试验力,测量试样表面压痕对角线长度。(见图 A.1)

style="width:4.02663in;height:3.81326in" />

A.1 维氏硬度测定原理示意图

A.3 维氏硬度的表示方法

试验力除以压痕表面积的商就是维氏硬度值。用49 N(5
kg)的试验力,标准的试验保持时间为

10 s~15 s,若所测定的维氏硬度值为1500,即表示为1500 HVs。

A.4 试验设备

试验设备应满足JJG 151—2006 规定的要求。

注:本测试方法由河南济源兄弟材料有限公司提供。

A.5 试样

试样样品应符合下列要求:

a) 试样要求:1 cm×1cm 见方,厚度不小于4 mm;

b) 试验面与相对机面的平行度不大于0.3 mm/cm;

GB/T 5593—2015

c) 试验面应为光滑平面,粗糙度按 GB/T 1031— 1995 规定测试值Ra
不大于0.8 μm。

A.6 试验步骤

试验步骤如下所示:

a) 将硬度计放置在稳固的基础上,并调至水平,其水平度为0.2/1000;

b) 使试样试验面与压头轴线垂直;

c) 调好显微镜焦距;

d) 选择试验力为49 N(5kg),
对于特殊情况试验力可另行选择,但应在试验报告中注明;

e)
在试验前或在更换压头后,用相应的标准维氏硬度块进行校验,以判别压痕形状和硬度测定值
是否正确;

f) 以0.3 mm/s
的加荷速度施加负荷。在试验过程中不应有任何冲击或振动,保持试验力10 s~

15 s,准确测量压痕对角线长度;

g) 在同一个试验面上压痕数量不少于5个;

h)
相邻两压痕中心距离为压痕对角线长度的10~15倍,压痕中心至试样边缘距离至少为压痕对
角线平均长度的10~15倍;

i) 试验后,当试验面上出现压痕形状不完整或畸形时,其结果无效。

A.7 硬度值的计算

维氏硬度的计算公式如式(A. 1) 所示:

style="width:4.97331in;height:1.01992in" /> … … … … … … … …(A. 1)

式中:

HV—— 维氏硬度符号;

F — 试验力,单位为牛顿(N);

α — — 压头两端面相对面夹角,
style="width:0.82679in;height:0.68662in" />……

d — 压痕两对角线d₁ 、d2 的算术平均值,单位为毫米(mm)。

以各点测量结果的算术平均值作为维氏硬度值,保留3位有效数字;

至少以5个有效数据计算平均值和标准偏差作为试验结果。

A.8 检验报告

电子元器件结构陶瓷材料维氏硬度测试报告应包括以下内容:

a) 受检单位名称;

b) 送样日期;

c) 送样者;

d) 测试样品编号;

e) 使用的仪器、操作者、测试日期;

f) 检验项目及检验结果。

延伸阅读

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